隔膜真空泵(Diaphragm Vacuum Pump)是一种利用弹性隔膜的往复运动来产生真空或压力的干式机械泵。其核心特点是无油设计,避免了油蒸气污染,非常适合对洁净度要求高的应用场景。以下是关于隔膜真空泵的详细介绍:
工作原理
隔膜运动:电机驱动连杆机构,使弹性隔膜(通常为PTFE或橡胶材质)做往复运动,改变泵腔容积。
气阀控制:通过单向阀(进气阀和排气阀)的交替开闭,气体被吸入泵腔后压缩并排出,形成真空。
核心特点
无油设计:无需润滑油,避免油蒸气污染,适合洁净环境(如实验室、医疗)。
低维护:结构简单,活动部件少,寿命长。
中等真空度:极限真空通常为10–100 mbar(压力),适合低至中真空需求。
耐腐蚀性:泵腔和隔膜可采用化学惰性材料(如PTFE),适合腐蚀性气体。
低噪音与振动:相比旋片泵更安静。
典型应用场景
实验室:旋转蒸发仪、真空干燥、过滤。
医疗设备:牙科抽吸、分析仪器。
工业:半导体封装、印刷机械、气动系统。
环保:气体采样、真空吸附。
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